DRK8090 Fotoelektrik profili

Bu gural kontakt däl, optiki fazany üýtgedýän interferometrik ölçeg usulyny kabul edýär, ölçeg wagtynda iş böleginiň ýüzüne zeper ýetirmeýär, dürli iş bölekleriniň üstki mikro-topografiýasynyň üç ölçegli grafikasyny çalt ölçäp bilýär we ölçemegi seljerýär we hasaplaýar. Netijeler

Önümiň beýany
Aýratynlyklary: Dürli ölçeg bloklarynyň we optiki bölekleriň üstki çişligini ölçemek üçin amatly; hökümdaryň we aýlawyň çuňlugynyň çuňlugy; örtükli çukur gurluşynyň örtüginiň galyňlygy we örtük araçäginiň gurluş morfologiýasy; magnit (optiki) diskiň we magnit kellesiniň gurluşyny ölçemek; kremniý wafli üstüň gödekligi we nagyş gurluşyny ölçemek we ş.m.
Guralyň ýokary ölçeg takyklygy sebäpli, kontakt däl we üç ölçegli ölçeg aýratynlyklaryna eýedir we kompýuter gözegçiligini we ölçeg netijelerini çalt seljermegi we hasaplamagy kabul edýär. Bu gural ähli synag we ölçeg gözleg bölümleri, senagat we magdan kärhanalarynyň ölçeg otaglary, takyk gaýtadan işleýän ussahanalar, şeýle hem ýokary okuw jaýlary we ylmy gözleg edaralary we ş.m. üçin amatlydyr.
Esasy tehniki parametrler
Surfaceerüsti mikroskopiki deňsizlik çuňlugyny ölçemek
Üznüksiz üstünde, iki sany ýanaşyk pikseliň arasynda 1/4 tolkun uzynlygyndan uly bolmadyk birden üýtgeşiklik: 1000-1nm
Iki ýanaşyk pikseliň arasynda tolkun uzynlygynyň 1/4 böleginden ýokary beýiklik mutasiýa bolanda: 130-1nm
Ölçemäniň gaýtalanmagy: δRa ≤0.5nm
Obýektiw obýektiw ulaltmak: 40X
San dykyzlygy: Φ 65
Iş aralygy: 0,5 mm
Gurallaryň görnüşi Visual: Φ0.25mm
Surat: 0,13 × 0.13mm
Gurallary ulaltmak Visual: 500 ×
Surat (kompýuteriň ekrany bilen synlanýar) -2500 ×
Alyjynyň ölçeg massiwi: 1000X1000
Pikseliň ululygy: 5.2 × 5.2µm
Ölçeme wagtynyň nusgasy (skaner) wagty: 1S
Gurallaryň standart aýna şöhlelenmesi (ýokary): ～ 50%
Oýlanma (pes): ～ 4%
Yşyklandyryş çeşmesi: akkor lampa 6V 5W
Greenaşyl päsgelçilik süzgüç tolkun uzynlygy: λ 30 530nm
Halfarym ini λ ≒ 10nm
Esasy mikroskop göteriji: 110 mm
Stol göteriji: 5 mm
X we Y ugurda hereket aralygy: ～ 10 mm
Iş stolunyň aýlanma diapazony: 360 °
Iş stolunyň ýapgyt diapazony: ± 6 °
Kompýuter ulgamy: P4, 2.8G ýa-da has köp, 1G ýa-da has köp ýady bolan 17 dýuým tekiz ekran